1、潔凈廠房的竣工工驗收，是在各分部單機試車，無生產負荷系統試車自檢合格后進行。竣工驗收的內容是對各分部工程的單機試車和無生產負荷系統試車的核查，潔凈室（區）性能參數檢測和調試、各分部觀感質量核查，建設方要求的檢測和調試內容。
2、潔凈廠房竣工驗收時，應認真檢查竣工驗收的資料，一般包括下列文件及記錄：
（1）圖紙會審記錄、設計變更通知書和竣工圖；
（2）各分部工程的主要設備、材料和儀器儀表的出廠合格證明及進場檢驗報告；
（3）各分部工程的單機設備、系統安裝及檢驗記錄；
（4）各分部單機試運轉記錄；
（5）各分部工程、系統無負荷試運轉與調試記錄；
（6）各類管線試驗、檢查記錄；
（7）各分部工程的安全設施的檢驗和調試記錄；
（8）各分部工程的質量驗收記錄。
3、潔凈廠房內各分部工程的觀感質量核查。
4、各分部工程的各類設備單機試車的核查，應符合本規范5～12章的相關規定。
5、各分部工程的各類系統的單機試車核查合格后，應進行無生產負荷的穩定運行核查。
6、潔凈廠房竣工驗收的主要測試內容，一般應包括如下測試：
（1）氣流目測；
（2）風速和風量測試；
（3）空氣過濾器的檢漏；
（4）潔凈室（區）的密閉性測試；
（5）房間之間的靜壓差測試；
（6）空氣潔凈度等級；
（7）產品生產工藝有要求者，應進行微生物測試或化學污染物測試或特殊表面的潔凈度測試；
（8）自凈時間；
（9）溫度、相對濕度；
（10）照度值；
（11）噪聲級；
（12）其他建設方需要進行的檢測項目。
7、潔凈廠房竣工驗收后，應由施工方編寫竣工驗收報告，其主要內容上述外還有：
（1）觀感核查記錄；
（2）分項測試記錄及分析意見（包括測試點位置、座標等）；
（3）測試儀器的有效校驗證書；
（4）結論。