1、局部排風(fēng)
各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程不可避免地將會(huì)有各類粉塵、有害氣體、有害物質(zhì)的排出，防止它們在潔凈室內(nèi)擴(kuò)散、污染的有效方法是在相關(guān)設(shè)備處采取局部排風(fēng)方式經(jīng)處理達(dá)標(biāo)后排至室外。對(duì)于如下情況的局排系統(tǒng)應(yīng)獨(dú)立設(shè)置。
（1）排風(fēng)介質(zhì)混合后能產(chǎn)生加劇腐蝕性、毒性、燃燒爆炸危險(xiǎn)性；
（2）排風(fēng)介質(zhì)中有毒與無毒，毒性相差很大；
（3）易燃、易爆與一般排風(fēng)；
（4）潔凈室的排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)，應(yīng)采取下列技術(shù)措施。
為防止室外的氣流倒灌流入室內(nèi)，引起污染和積塵，常用防倒灌措施：設(shè)置中效過濾器；采用止回閥，使用方便但密封性較差；采用密閉閥、密封性好，但結(jié)構(gòu)復(fù)雜；采用自控裝置等。
（1）含有易燃、易爆局部排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)采用與排出物質(zhì)相適應(yīng)的防火、防爆措施；
（2）排風(fēng)介質(zhì)中有害濃度及排放量超過國家或地區(qū)有害物排放濃度及排放量規(guī)定時(shí)應(yīng)進(jìn)行無害化處理，達(dá)標(biāo)后才能排入大氣；
（3）對(duì)含有水蒸汽和凝結(jié)性物質(zhì)的排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)坡度及排放口，以即時(shí)排除凝結(jié)液。
潔凈廠房內(nèi)的換鞋、存外衣、盥洗、廁所和沐浴等生產(chǎn)輔助房間，應(yīng)采取通風(fēng)措施，其室內(nèi)的靜壓值，應(yīng)低于潔凈區(qū)。
潔凈室應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置事故排風(fēng)系統(tǒng)。事故排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)自動(dòng)和手動(dòng)控制開關(guān)，手動(dòng)控制開關(guān)應(yīng)分別設(shè)在潔凈室及潔凈室外便于操作的地點(diǎn)。一般對(duì)于有可能散發(fā)有害氣體或易燃易爆氣體的潔凈室（區(qū)）應(yīng)設(shè)事故排風(fēng)裝置。
排風(fēng)系統(tǒng)的設(shè)備、管道和附件的制作材料、保溫材料、涂料，應(yīng)根據(jù)排出的氣體性質(zhì)、狀態(tài)等條件選用合適的材質(zhì)，通常應(yīng)符合下列要求。
（1）排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料。這里所指的不燃材料是各種類型的金屬板材，包括碳鋼、不銹鋼、有色金屬板材，具有選用應(yīng)按排氣的性質(zhì)確定；
（2）排除腐蝕性氣體的風(fēng)管，應(yīng)采用耐腐蝕的難燒材料。這里所指的難燒材料主要是氧指數(shù)等于大于32的玻璃鋼等；
（3）附件、保溫材料、消聲材料和涂料等均采用不燃材料或難燃材料。這里所指的不燃材料主要是巖棉、玻璃棉等；難燃材料主要是氧指數(shù)大于等于32的橡塑海綿、聚氨脂等。
2、潔凈室的防排煙設(shè)計(jì)
潔凈廠房是密閉無窗或設(shè)固定窗的房間，設(shè)置防排煙系統(tǒng)是確保人員疏散的必要方法之一。在《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)定》（GB50073-2001）第6.5.7條中規(guī)定：潔凈廠房疏散走廊，應(yīng)設(shè)置機(jī)械防排煙設(shè)施。現(xiàn)摘錄《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》的修訂稿草案中的有關(guān)規(guī)定，供參考。排煙量的確定，設(shè)置機(jī)械排煙設(shè)施的場所，其排煙風(fēng)機(jī)的排煙量，當(dāng)擔(dān)負(fù)一個(gè)防煙區(qū)排煙時(shí)，應(yīng)不小于60m3/h/m2計(jì)算排煙量；擔(dān)負(fù)兩個(gè)或兩個(gè)以上防煙分區(qū)的排煙系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)按zui大的防煙分區(qū)的面積不小于120 m3/h/m2計(jì)算排煙量。單臺(tái)排煙風(fēng)機(jī)的zui小排煙量不應(yīng)小于7200 m3/h。排煙風(fēng)機(jī)的選型，排煙風(fēng)機(jī)可采用離心機(jī)或排煙風(fēng)機(jī)，風(fēng)量應(yīng)考慮10%—20%的漏風(fēng)量，風(fēng)壓應(yīng)滿足排煙系統(tǒng)zui不利環(huán)路的要求。在風(fēng)機(jī)入口總管上，設(shè)置當(dāng)煙氣溫度超過280℃能自動(dòng)關(guān)閉的防火閥，且應(yīng)與排煙風(fēng)機(jī)連鎖。
排煙口的設(shè)置，排煙口或排煙閥應(yīng)設(shè)置在頂棚內(nèi)的墻面上，且與鄰近安全出口相鄰邊緣之間的水平距離不應(yīng)小于1.5m，距可燃物體的距離不應(yīng)小于1.0m；排煙口或排煙閥平時(shí)應(yīng)關(guān)閉，并應(yīng)設(shè)手動(dòng)或自動(dòng)開啟裝置，排煙口與該防煙分區(qū)內(nèi)zui遠(yuǎn)的水平距離不應(yīng)超過300m。